一种用于裸片真空传递的传递装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种用于裸片真空传递的传递装置，传样杆(1)、裸片车(2)和传样载具；所述传样载具控制并连接所述传样杆(1)；所述裸片车(2)上设置有裸片架；所述裸片架用于架设裸片(10)；所述传样杆(1)包括抓取杆(3)与缓冲套件(4)；所述缓冲套件(4)滑动套接在所述抓取杆(3)上；所述抓取杆(3)上设置有抓取口(5)；所述缓冲套件(4)上设置有固定口(6)；所述裸片车(2)上设置有对接口(7)；所述缓冲套件(4)上设置有与所述对接口(7)对应的对接头(8)；所述抓取杆(3)上设置有抓取口(5)。本实用新型的有益效果是：裸片不会受力损坏或者在传递过程中掉落，具有高操作性、可靠性和兼容性。

基本信息

专利标题：

一种用于裸片真空传递的传递装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020789164.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-13

授权号：

CN213474676U

授权日：

2021-06-18

发明人：

赵嘉峰谢斌平刘锐

申请人：

费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司

代理人：

姜杉

优先权：

CN202020789164.8

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90