一种带有鱼鳞状凸起的化学机械抛光垫
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有鱼鳞状凸起的化学机械抛光垫，包括抛光垫基体，所述抛光垫基体为圆形，所述抛光垫基体的表面均匀设置有若干排鱼鳞状分布的凸起，每一所述凸起的横截面设置呈圆形，且所述凸起的中心厚边沿薄，每排所述凸起靠近所述抛光垫基体边沿的位置设置有相适配的用于填充鳞片。本实用新型技术方案简单实用，旨在提高抗碎物戳刺破坏能力，提高其使用寿命，节省更换抛光垫成本。
基本信息
专利标题 ：
一种带有鱼鳞状凸起的化学机械抛光垫
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020792996.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-13
授权号 ：
CN212071567U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
朱文献
申请人 ：
昂士特科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
梁炎芳
优先权 ：
CN202020792996.5
主分类号 ：
B24B37/26
IPC分类号 ：
B24B37/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
B24B37/20
用于加工平面的研磨垫
B24B37/26
以研磨垫表面的形状为特征，如带有槽的
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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