低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统
授权
摘要
本实用新型公开了低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统，包括真空室、真空泵组、真空抽气管道阀门组件、工作气体输入单元、调节气体输入单元、压力测量单元和电气控制单元，真空泵组通过真空抽气管道对真空室抽取真空。工作气体输入单元包括电磁阀Ⅰ、质量流量控制器Ⅰ及工作气体管路，向真空室充入工作气体。调节气体输入单元包括电磁阀Ⅱ、质量流量控制器Ⅱ及调节气体管路，向真空泵组抽气口充入大气。电气控制单元采用PLC控制真空泵组和电磁阀的开/关、设定工作气体充气流量、设定真空室目标压力值，根据压力测量单元反馈的真空室动态压力值，对调节气体充气流量进行PID调整，实现对真空室动态压力的精确控制。
基本信息
专利标题 ：
低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020798672.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-14
授权号 ：
CN212454830U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
王晓伟阚存东李虎
申请人 ：
上海利方达真空技术有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区叶城路1288号6幢J1072室
代理机构 ：
北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张新利
优先权 ：
CN202020798672.2
主分类号 ：
F04C28/24
IPC分类号 ：
F04C28/24 F04C25/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C28/00
专门适用于弹性流体的泵或泵送装置的控制、监测或安全装置
F04C28/24
以使用调节压力或流量阀为特征的，如排放阀
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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