一种集中供源装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种集中供源装置,包括源瓶、为源瓶提供源液的源桶以及为源瓶保温的控温腔体,所述源桶上设置有压力控制装置、补充源液的进酸管道和为源瓶输送源液的补液件,所述源瓶上设置有输入载气的进气管和管路输送机构,所述管路输送机构包括输出气体的气体输送机构和泄压管道机构,本实用新型采用集中供源的方式对多个源瓶进行供液,集中供源一次补液,使用时间长久,无需拆卸搬运换源瓶,只是对接进酸口,外部进酸,减少风险,同时降低源瓶中液体量的波动,使气体所携带的源量一致,源瓶中液体压力一致,同时降低了气体对源液温度的影响,本实用新型的源液连续使用,使用无浪费,提高了源液的利用率。
基本信息
专利标题 :
一种集中供源装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020824099.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-18
授权号 :
CN213222075U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
刘群平飞林庞爱锁林佳继
申请人 :
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 :
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
董世博
优先权 :
CN202020824099.8
主分类号 :
B01J4/00
IPC分类号 :
B01J4/00 B01J4/02 F17C13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J4/00
进料装置;进料或出口控制装置
法律状态
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载