一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检...
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具，包括检测箱、O型圈槽和推拉手把，所述检测箱的顶部通过螺栓安装有放置面板，所述检测箱的一侧设置有真空管道，所述真空管道的一端设置有气体注入口，所述检测箱的一端通过定位螺栓安装有计时器，所述检测箱的内部通过安装架及螺栓安装有O型圈槽，所述检测箱的内表层设置有耐污层。该新型功能多样，操作简单，便于生产，满足了使用中的多种需求，适合广泛推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备WCVD装置Dome陶瓷部件密封面密封性检测治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020851409.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-20
授权号 ：
CN212082742U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
周毅张正伟
申请人 ：
安徽富乐德科技发展股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市金桥经济开发区
代理机构 ：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
李坤
优先权 ：
CN202020851409.5
主分类号 ：
G01M3/20
IPC分类号 ：
G01M3/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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