一种防腐蚀的单晶硅片
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种防腐蚀的单晶硅片，包括单晶硅片本体，所述单晶硅片本体的外表面设置有材料基层，所述材料基层包括石英石材料层，所述石英石材料层远离材料基层的一侧设置有金刚石基层，所述材料基层远离单晶硅片本体的一侧设置有加强层，所述加强层远离材料基层的一侧设置有制绒层，所述制绒层远离加强层的一侧设置有防腐层，所述防腐层包括二氧化硅层，所述二氧化硅层远离防腐层的一侧设置有单晶硅薄膜层。本实用新型通过设置单晶硅片本体、材料基层、加强层、制绒层和防腐层的相互配合，达到了防腐蚀性能好的优点，不会影响单晶硅片的使用效果，可以满足使用者的需求，延长了单晶硅片的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种防腐蚀的单晶硅片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020868205.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-22
授权号 ：
CN212085016U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
张弓
申请人 ：
新沂市棋盘工业集中区建设发展有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市新沂市棋盘镇墨新路西侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020868205.2
主分类号 ：
H01L31/0216
IPC分类号 ：
H01L31/0216 H01L31/0352 C30B29/06
法律状态
2022-05-06 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 31/0216
申请日 : 20200522
授权公告日 : 20201204
终止日期 : 20210522
申请日 : 20200522
授权公告日 : 20201204
终止日期 : 20210522
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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