一种臭氧水清洗装置

授权

摘要

本实用新型提供一种臭氧水清洗装置，包括清洗槽、与清洗槽相连的出液管、与出液管相连的臭氧水生成器、设置于出液管上的循环泵、设置于清洗槽内部和/或循环泵入口处和/或出口处的pH在线检测仪、连接臭氧水生成器和所述清洗槽上部的进液管以及设置于清洗槽上方的酸液补充机构。循环泵将清洗槽中的溶液输入臭氧水生成器中，生成臭氧水后再由进液管进入清洗槽中，形成一循环系统，确保所述清洗槽中的臭氧水浓度；pH在线检测仪检测清洗槽中溶液的pH值，当pH值低于预设值时，酸液补充机构朝向清洗槽补充所需要量的酸液，精准的维持清洗槽内溶液的pH值，从而让臭氧水浓度控制的更稳定，提升产品的清洗质量。

基本信息

专利标题：

一种臭氧水清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020868474.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-21

授权号：

CN212442316U

授权日：

2021-02-02

发明人：

文金福

申请人：

苏州旗正保精密机械有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区永安路128号1号楼4032室（横塘科技工业园）

代理机构：

北京盛凡智荣知识产权代理有限公司

代理人：

郑丰平

优先权：

CN202020868474.9

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67 C02F1/66