一种MEMS芯片级正交信号消除装置
授权
摘要
一种MEMS芯片级正交信号消除装置，框架电极设置在框架质量块上面，质量块上面通过弹簧设置在框架质量块上，质量块下面通过阻尼器与框架质量块连接，质量块下面对应感应电极，框架质量块通过弹簧和阻尼器与外部框架连接；框架质量块与驱动电容转换器和驱动环路连接，框架电极和框架电容转换器连接，质量块和感应电容转换器连接，并通过框架信号放大器和模数转换器连接；驱动电容转换器、驱动感应放大器、框架信号放大器和模数转换器构成ASIC模块。本实用新型的优点：不需要额外的电路，降低成本。不需要修正，没有量化误差，大大节省了最终检测时间，不由于模拟前端的相位失配产生新的偏执。本质上对于正交变化不敏感。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS芯片级正交信号消除装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020897854.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212363227U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
黄向向杨敏卢卡·卢斯基亚力桑德罗·罗奇关健梁泽山孙斯佳张晓磊陈琳
申请人 ：
罕王微电子（辽宁）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼（一层）
代理机构 ：
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202020897854.5
主分类号 ：
G01C19/5776
IPC分类号 ：
G01C19/5776
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5776
不局限于G01C19/5607至G01C19/5719中的装置的信号处理
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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