晶圆检视装置

专利申请权、专利权的转移

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆检视装置，用以检视晶圆，其借由非接触式检测器投射光至放置于载台上的该晶圆，并借由该非接触式检测器与该晶圆的相对运动，以利于该非接触式检测器对该晶圆进行检视。

基本信息

专利标题：

晶圆检视装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020905124.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-26

授权号：

CN212303609U

授权日：

2021-01-05

发明人：

洪成都林仲政

申请人：

桔云科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹县竹北市溪州路150号

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN202020905124.5

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67

相关图片

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

法律状态

2022-01-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20220104
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 成功因素科技私人有限公司
变更后权利人 : 苏州桔云科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡甘巴士湾3号NORDCOM ONE大楼#07-10
变更后权利人 : 江苏省苏州市工业园区星汉街5号腾飞新苏工业坊A幢411室

2021-12-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20211202
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 晶鹏科技股份有限公司
变更后权利人 : 成功因素科技私人有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国台湾新竹县竹北市溪州里3邻溪州路170巷3号
变更后权利人 : 新加坡甘巴士湾3号NORDCOM ONE大楼#07-10

2021-10-26 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 桔云科技股份有限公司
变更后 : 晶鹏科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 中国台湾新竹县竹北市溪州路150号
变更后 : 中国台湾新竹县竹北市溪州里3邻溪州路170巷3号

2021-01-05 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN212303609U.PDF

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