工艺辅助车
授权
摘要
本实用新型公开了一种工艺辅助车，包括上端开口的机架，设于机架上的两条横向导轨，与两条横向导轨滑动连接的支撑架，与支撑架上端连接的前滚轴支架和后滚轴支架；前滚轴支架包括前横杆和与前横杆连接的若干个间隔排列的前承载滚轴；后滚轴支架包括后横杆和后横杆连接的若干个间隔排列的后承载滚轴。本实用新型具有可以将盛片管轻松的、安全平稳的推入或拉出工艺腔体的特点。
基本信息
专利标题 ：
工艺辅助车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020928725.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-27
授权号 ：
CN212113658U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
刘东
申请人 ：
杭州西风半导体有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区振兴东路22号
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
阎忠华
优先权 ：
CN202020928725.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/332
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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