一种用于制备超滑滑块的探针
授权
摘要
本新型提供了一种用于制备超滑滑块的探针，包括钨丝和探针尖端，其中，通过聚焦离子束刻蚀等方法，在探针尖端处刻蚀出一个平台，使用时用该平台与超滑滑块接触，并使用探针从顶部接触超滑滑块，施加正压力和剪切力，从而推动滑块。该探针可以避免在超滑滑块较大时，滑块在探针推动下发生屈曲失稳从而收到破坏的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于制备超滑滑块的探针
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020945751.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN213060192U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
郑泉水瞿苍宇
申请人 ：
深圳清华大学研究院;清华大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区科技园高新南七道深圳清华大学研究院C717
代理机构 ：
深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人 ：
满群
优先权 ：
CN202020945751.1
主分类号 ：
B81B1/00
IPC分类号 ：
B81B1/00 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B1/00
不具有活动或柔性元件的装置，例如微毛细管装置
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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