一种氢氟酸尾气处理装置
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摘要
一种氢氟酸尾气处理装置，包括降膜吸收塔、水洗塔和碱洗塔，降膜吸收塔底部设有第一水箱，顶部设有尾气容器，尾气容器顶部设有尾气接入管，降膜吸收塔外侧方底部与第一水箱连接设有第一循环水泵，水洗塔外侧方底部连接设有第二水箱，与第二水箱相对的一侧设有第二循环水泵，碱洗塔内侧底部设有第三水箱，外侧方底部连接设有第三循环水泵，排气管穿过风机与碱洗塔顶部相互连接；本申请将已溶解氢氟酸尾气的超纯水回收，可进行二次利用，通过该方式达到了保护生态环境，循环二次利用的有益效果。
基本信息
专利标题 ：
一种氢氟酸尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020949216.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN212731667U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
骆家拴
申请人 ：
昆山欣谷微电子材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路219号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020949216.3
主分类号 ：
B01D53/78
IPC分类号 ：
B01D53/78 B01D53/68
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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