无水氢氟酸尾气处理装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置，包括：常压尾气收集管；喷射器，其进气端与所述常压尾气收集管连接；带压尾气收集管；石墨降膜吸收器，其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接，所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口；设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路；增浓槽，其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接，其底部的出液口与回收管路连接。

基本信息

专利标题：

无水氢氟酸尾气处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021387647.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-15

授权号：

CN213132570U

授权日：

2021-05-07

发明人：

骆彦成刘奕丰任建业胡侃中吴全贵

申请人：

福建天甫电子材料有限公司

申请人地址：

福建省龙岩市上杭县蛟洋镇坪埔村新村路71号3层

代理机构：

厦门原创专利事务所(普通合伙)

代理人：

徐东峰

优先权：

CN202021387647.1

主分类号：

B01D53/18

IPC分类号：

B01D53/18