电子级无水氢氟酸电导测量管路

授权

摘要

本实用新型提供了一种电子级无水氢氟酸电导测量管路，包括：主管路段(10)；设置于所述主管路段(10)上的第一阀门(11)；与所述主管路段(10)并联的副管路段(12)；顺序设置于所述副管路段(12)上的第二阀门(13)、电导度计(14)以及第三阀门(15)；以及设置于所述副管路段(12)上的冷却单元(16)，所述冷却单元(16)用于将所述副管路段(12)中的气态氢氟酸冷却成液态。

基本信息

专利标题：

电子级无水氢氟酸电导测量管路

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021048323.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-09

授权号：

CN212459495U

授权日：

2021-02-02

发明人：

骆彦成艾合买提艾尔肯陈国明赖廷恩

申请人：

福建天甫电子材料有限公司

申请人地址：

福建省龙岩市上杭县蛟洋镇坪埔村新村路71号3层

代理机构：

厦门原创专利事务所(普通合伙)

代理人：

徐东峰

优先权：

CN202021048323.5

主分类号：

G01N27/10

IPC分类号：

G01N27/10