一种无水氟化氢卸料装置
授权
摘要
一种无水氟化氢卸料装置,包括槽车、原料储罐和氮气罐,原料储罐底部设有称重装置,内部设有雷达波液位计量器,原料储罐通过卸料管与槽车相互连接,卸料管一端设有紧急断料阀,氮气罐通过氮气输入管与槽车相互连接,氮气输入管一端设有紧急氮气切断阀,其另一端位于氮气罐方向设有电控安全阀;本申请通过将氮气经氮气输入管输入进槽车中,使得无水氟化氢自动经过卸料管输入进原料储罐内,在卸料过程中,由于原料储罐底部设有称重装置,内部设有雷达波液位计量器,达到了保证作业安全的有益效果。
基本信息
专利标题 :
一种无水氟化氢卸料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020951727.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-29
授权号 :
CN212745973U
授权日 :
2021-03-19
发明人 :
骆家拴
申请人 :
昆山欣谷微电子材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路219号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020951727.9
主分类号 :
F17C7/00
IPC分类号 :
F17C7/00 F17C13/00 F17C13/02 F17C13/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C7/00
从压力容器内排放液化、固化或压缩气体的其他小类内不包含的方法或设备
法律状态
2021-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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