一种无水氟化氢汽化装置
授权
摘要

一种无水氟化氢汽化装置,包括热水输入阀、热水输出阀、无水氟化氢输入阀和汽化器,热水输入阀通过输入管与汽化器相互连接,热水输出阀通过输出管与汽化器相互连接,无水氟化氢输入管中部与汽化器底部相互连接,汽化器顶部通过汽化输入管道与去纯塔相互连接;本申请将热水从输入管导入,途径汽化器再由输出管导出,对汽化器内的无水氟化氢进行加热使无水氟化氢产生汽化,通过该方式达到了保证作业安全,提高作业效率的有益效果。

基本信息
专利标题 :
一种无水氟化氢汽化装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020951761.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-29
授权号 :
CN212740740U
授权日 :
2021-03-19
发明人 :
骆家拴
申请人 :
昆山欣谷微电子材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路219号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020951761.6
主分类号 :
C01B7/19
IPC分类号 :
C01B7/19  F17D1/08  F17D3/01  F17D5/00  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B7/00
卤素;氢卤酸
C01B7/19
氟;氟化氢
法律状态
2021-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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