一种无水氟化氢汽化装置
授权
摘要
一种无水氟化氢汽化装置，包括热水输入阀、热水输出阀、无水氟化氢输入阀和汽化器，热水输入阀通过输入管与汽化器相互连接，热水输出阀通过输出管与汽化器相互连接，无水氟化氢输入管中部与汽化器底部相互连接，汽化器顶部通过汽化输入管道与去纯塔相互连接；本申请将热水从输入管导入，途径汽化器再由输出管导出，对汽化器内的无水氟化氢进行加热使无水氟化氢产生汽化，通过该方式达到了保证作业安全，提高作业效率的有益效果。
基本信息
专利标题 ：
一种无水氟化氢汽化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020951761.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN212740740U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
骆家拴
申请人 ：
昆山欣谷微电子材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路219号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020951761.6
主分类号 ：
C01B7/19
IPC分类号 ：
C01B7/19 F17D1/08 F17D3/01 F17D5/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B7/00
卤素；氢卤酸
C01B7/19
氟；氟化氢
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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