一种石英双炉门结构

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种石英双炉门结构，包括内密封石英炉门、石英包、保温材料、外密封炉门、炉口密封垫、炉门水冷进出水嘴、炉门腔室进气管、双炉门驱动机构安装座、弹性部件、炉门腔室、双腔室石英工艺管、冷却水道和压力平衡气口，所述双腔室石英工艺管的左端设置有炉门腔室，所述炉门腔室的内部设置有内密封石英炉门，所述内密封石英炉门的左端固定安装有石英包。本实用新型通过对常用的炉门结构进行改进，使其在使用炉门处不会产生双腔室工艺管在工艺过程中的反应物在炉口处积存，最终实现炉口干净而使双炉门的密封效果保持良好、炉口没有反应物积存，也不会阻碍工艺管内完成工艺工作的物料进出顺畅，不浪费清理和维护时间。

基本信息

专利标题：

一种石英双炉门结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020961834.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-01

授权号：

CN212253665U

授权日：

2020-12-29

发明人：

张海林滕玉朋

申请人：

青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

申请人地址：

山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020961834.X

主分类号：

F27D1/18

IPC分类号：

F27D1/18 F27D7/06