一种喷嘴安装辅助装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体领域，尤其涉及一种喷嘴安装辅助装置。包括：一主杆；一高度调节装置，设置于所述主杆上；一方向调节装置，连接于所述高度调节装置上；一夹持装置，所述夹持装置上设置多个用于夹持喷嘴的夹具；一可调角底座，设置于所述主杆的末端上；其中，所述夹持装置连接于所述方向调节装置上。上述技术方案的有益效果是：提供一种喷嘴安装辅助装置，能够在夹持/松开喷嘴的同时，带动喷嘴进行高度和方向上的调节，从而使炉管喷嘴更换更便捷，可减少设备因更换喷嘴而停机的时间，降低喷嘴在更换过程中损坏的可能性。
基本信息
专利标题 ：
一种喷嘴安装辅助装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021019660.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-05
授权号 ：
CN212907650U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
范宇辰周夏
申请人 ：
武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
俞涤炯
优先权 ：
CN202021019660.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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