本实用新型涉及制备三氟化氮的废气处理技术领域，尤其涉及一种三氟化氮制备过程中的废气处理系统。采用将制备三氟化氮所产生的废气依次经过裂解塔、冷却器、缓冲塔、水洗塔、还原塔、碱洗塔逐一处理，从而能够得到符合排放标准的工业废气，从而避免了因三氟化氮废气所产生的安全事故，而且废气的排放也符合工业气体排放标准和绿色环保要求。