本发明属于废气处理领域，具体涉及处理六氟磷酸锂制备过程中废气的系统及方法。处理六氟磷酸锂制备过程中废气的系统，其结构如下：废气排放管道与第一换热器相连接；第一换热器、第一级氟化氢洗涤塔、第二级氟化氢洗涤塔、第二换热器、第一级氯化氢洗涤塔，第二级氯化氢洗涤塔通过气体管道依次相串联。废气分别经第一换热器换热，再经各级洗涤塔吸收，以达到处理氟化氢和氯化氢气体的目的。本发明的有益效果在于：减少了六氟磷酸锂生产过程中产生的混酸量，提高了混酸中氢氟酸的浓度，使得混酸更利于制备副产品，同时能收集到更高纯度的浓盐酸，进一步提高了盐酸的附加值。