一种氦气回收提纯装置

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摘要

本实用新型公开一种氦气回收提纯装置，包括回收气罐、回收压缩泵、气体膜分离器、气体提纯塔和真空泵；回收压缩泵的入口管路连接回收气罐，回收气罐上安装有压力变送器一，回收气罐的入口管路上安装有质量流量控制计一，质量流量控制计一的入口连接氦气回收场景；回收压缩泵的出口管路连接气体膜分离器，气体膜分离器的出口管路连接气体提纯塔，气体提纯塔不少于两组且各组相互并联，每组气体提纯塔均通过控制阀门控制气体流向，气体提纯塔的入口管路上接有真空泵，出口管路上接有质量流量控制计二。本实用新型采用膜+变压吸附的复合方法，能完成对复杂工况的低浓度的氦气、氢气、氖气等的回收和提纯操作，回收效率高、纯度高。

基本信息

专利标题：

一种氦气回收提纯装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021040494.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-09

授权号：

CN212403472U

授权日：

2021-01-26

发明人：

郭会军杨俊鹏杨辉陈伟

申请人：

安徽中科皖能科技有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市庐阳区耀远路工投兴庐科技产业园2号楼901室

代理机构：

合肥国和专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙永刚

优先权：

CN202021040494.3

主分类号：

C01B23/00

IPC分类号：

C01B23/00 C01B3/50 B01D53/047 B01D53/22