氦气回收净化装置
授权
摘要
一种氦气回收净化装置，其包括依次设置于氦气回收净化管路上的第一循环风机、第二循环风机、吸收系统、第一压缩机、干燥系统、膜分离系统、第二压缩机和低温吸附系统，第一循环风机用于将各工段排放的污氦气送入吸收系统，吸收系统用于对污氦气进行脱氯处理，第一压缩机用于将脱氯处理后的污氦气压缩并将其输送至干燥系统进行脱水处理，膜分离系统用于对脱水处理后的污氦气去除杂质气体，第二压缩机用于将去除杂质气体后的污氦气进一步压缩并将其输送至低温吸附系统对污氦气进行深度纯化处理。
基本信息
专利标题 ：
氦气回收净化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921458618.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210559394U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
熊联友汤建成雷灵龙徐鹏高金林
申请人 ：
北京中科富海低温科技有限公司;中国科学院理化技术研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区知春路63号51号楼14层1407
代理机构 ：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹卫良
优先权 ：
CN201921458618.7
主分类号 ：
C01B23/00
IPC分类号 ：
C01B23/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B23/00
惰性气体；其化合物
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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