本发明属于特种气体技术领域，尤其是涉及一种氦气分装回收纯化工艺，包括高纯氦分装工艺、工业氦回收工艺、工业氦纯化工艺和超纯氦分装工艺，高纯氦分装工艺是将液氦罐箱内的氦气导出换热成为常温氦气，然后缓冲、加压和过滤，进行高纯氦气充装，工业氦回收工艺是将氦气分装纯化工艺所副产工业氦气体收集到工业氦气囊中，然后加压、过滤和干燥，进行工业氦气充装；工业氦纯化工艺是将工业氦气囊中的工业氦干燥，然后加压、过滤和干燥，经纯化形成高纯氦；超纯氦分装工艺是将高纯氦气经过纯化形成超纯氦，然后充装超纯氦气瓶。本发明对副产工业氦进行回收利用和纯化，可进行超纯氦充装，充分利用氦气资源。