本实用新型公开了超纯水制备技术领域的一种高效低耗超纯水制备装置，包括有底板，所述底板顶端左侧设置有箱体，所述箱体顶部开口，所述箱体内腔中部设有存渣环，所述存渣环的内环孔顶部设有过滤网，所述箱体左侧壁上对应存渣环开设有排污口，所述排污口内设有密封塞头，所述箱体的右侧设有活塞抽水机构，所述箱体的右侧壁下部设有出水口，本实用新型通过设置的活塞抽水机构，能够加速超纯水制备中水质预处理的过滤速度，通过设置的清扫机构，能够实时清扫过滤网的网面，将杂质扫入配合设置的存渣环中，有效解决了过滤网堵塞的问题，保证了过滤效率，且清扫机构与活塞抽水机构共用一组电机，电机利用率高。