一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置，其确保将空气颗粒尘埃抽排出抛光机时、对抛光盘的划伤率低，提高沉底晶片抛光良品率。其包括抛光设备底座，所述抛光设备底座上布置有定盘转盘，所述定盘转盘上放置有陶瓷盘晶片载体，所述抛光设备底座通过上凸的弧板连接上部安装架，所述上部安装架上设置有若干个下露的抛光转盘，所述抛光转盘用于陶瓷盘晶片载体上的晶片的抛光，所述弧板上开设有至少一个抽排风口，每个所述抽排风口通过抽风管外接抽风动力装置，封闭原有的垂直抽排口。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021068930.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
CN213592637U
授权日 ：
2021-07-02
发明人 ：
易德福
申请人 ：
江西德义半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼
代理机构 ：
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 ：
杜丹盛
优先权 ：
CN202021068930.8
主分类号 ：
B24B55/06
IPC分类号 ：
B24B55/06 B24B29/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B55/00
用于磨床或抛光机的安全装置；配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件
B24B55/06
在磨床或抛光机上排除粉尘的装置
法律状态
2021-07-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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