一种用于进气管居中性校准工装
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于进气管居中性校准工装，包括相配合使用的校准螺杆和校准环；校准环为圆柱体，校准环的中心有一通孔，校准环的边缘均布有四个定位孔，四个校准螺杆分别与四个定位孔连接，四个校准螺杆的尾部位于通孔内。本实用新型提供的用于进气管居中性校准工装，校准环将进气内管控制在居中位置，校准螺杆拧入后将进气内管固定，使内进气管在外进气管居中位置，使反应气体的气流分布均匀，充分利用炉内反应气体，改善大坩埚的表面厚度均匀性，提高反应气体的利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于进气管居中性校准工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021092142.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212925162U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
刘汝强王殿春刘斌窦松德周清波
申请人 ：
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
颜洪岭
优先权 ：
CN202021092142.2
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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