视觉检测设备
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及晶圆检测设备的技术领域,提供了一种视觉检测设备,包括:工作平台、设置在工作平台上并用于铺放晶圆的载物平台、光源,朝向载物平台的摄像头、第一升降器,以及第二升降器;摄像头通过第一升降器设置在工作平台上,光源通过第二升降器设置在工作平台上;载物平台位于摄像头与光源之间。光源通过第二升降器进行升降以调节光源与晶圆之间的相对高度,提升摄像头的拍照效果;摄像头通过第一升降器进行升降以调节摄像头与晶圆之间的相对高低位置关系并拍摄晶圆的边缘,用户通过晶圆的边缘图片来获取晶圆边缘形状和判断晶圆的厚度,非常方便,不会刮伤晶圆。

基本信息
专利标题 :
视觉检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021094350.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-12
授权号 :
CN212567289U
授权日 :
2021-02-19
发明人 :
沈艳东陈章水汤显伟莫海文雷理
申请人 :
广东长信精密设备有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
颜希文
优先权 :
CN202021094350.6
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2021-09-03 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01B 11/06
登记生效日 : 20210824
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东先导稀材股份有限公司
变更后权利人 : 江苏先导微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511500 广东省清远市清新区禾云镇工业区(鱼坝公路旁)(一照多址)
变更后权利人 : 221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区珠江东路11号办公大楼1241室
2021-08-17 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01B 11/06
登记生效日 : 20210804
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东长信精密设备有限公司
变更后权利人 : 广东先导稀材股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间
变更后权利人 : 511500 广东省清远市清新区禾云镇工业区(鱼坝公路旁)(一照多址)
2021-02-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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