一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备，属于太阳能电池设备技术领域，其中，密封圈水冷保护结构，包括设置于炉管端部的法兰总成和密封圈组，法兰总成设有至少一条水冷通道，法兰总成与炉管的接触面设有导热圈；解决了PECVD设备通常需要用到炉管，炉管在工作时内部为高温负压的环境，而保证负压环境的密封圈在高温下极易损坏，导致密封圈的使用寿命缩短，工作人员需频繁更换密封圈，由此带来成本提高，停机次数提高的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021095517.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212610889U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
王俊朝寇宗和
申请人 ：
深圳丰盛装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
代理机构 ：
深圳市深可信专利代理有限公司
代理人 ：
彭光荣
优先权 ：
CN202021095517.0
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/513 F16J15/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-05-11 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 16/44
登记生效日 : 20210427
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳丰盛装备股份有限公司
变更后权利人 : 深圳市大族光伏装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101
登记生效日 : 20210427
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳丰盛装备股份有限公司
变更后权利人 : 深圳市大族光伏装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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