一种半导体烘箱氮气调节装置
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摘要

本实用新型涉及调节装置技术领域,公开了一种半导体烘箱氮气调节装置,包括箱体,所述箱体的下端固定连通有出气管,所述箱体的左端固定连通有进气管,所述箱体的上端开设有螺纹孔,所述螺纹孔内设有螺纹杆,所述螺纹杆与螺纹孔螺旋连接,所述螺纹杆的上端固定安装有把手,所述箱体的内腔底端固定安装有套筒,所述套筒的外侧开设有透气孔,所述透气孔自上向下半径依次减小,所述套筒内设有密封塞。本实用新型通过手持把手并且拧动把手,从而能够带动螺纹杆转动,从而能够推动或者拉动密封塞,由于透气孔自上向下半径依次减小,从而密封塞在套筒内上下移动的过程中能够对氮气进行调节,较为实用,适合广泛推广和使用。

基本信息
专利标题 :
一种半导体烘箱氮气调节装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021101137.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-15
授权号 :
CN212720758U
授权日 :
2021-03-16
发明人 :
李双玉
申请人 :
涌明科技(上海)有限公司
申请人地址 :
上海市金山区枫泾镇泾商路99弄3023号306室
代理机构 :
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 :
李娜
优先权 :
CN202021101137.3
主分类号 :
F26B21/14
IPC分类号 :
F26B21/14  F26B25/12  H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B21/00
干燥固体材料或制品用的空气或气体的供应或控制装置
F26B21/14
应用除空气或水汽以外的气体或蒸气
法律状态
2021-03-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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