一种防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬
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摘要
一种涉及纳米材料制造领域的防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬，包含等离子炬本体，所述等离子炬本体包含从内到外同轴并间隙套设的送粉管、内层管、中间管、外层管和用于电离惰性气体产生等离子体的高频线圈，所述外层管两端外侧分别套设有用于密封中间管和外层管之间间隙的密封环座；所述高频线圈对应送粉管的喷头位置套设于外层管轴向中部，所述高频线圈外侧有间隙的套设有筒形的送风玻璃罩，所述送风玻璃罩包含密封端和敞口端，所述密封端与任一密封环座对应端密封固定，该密封环座外侧壁均匀环设有多个连通至送风玻璃罩内腔的送风口；该射频等离子炬不仅能够防止高频线圈匝间放电，也能够对线圈以及紧邻线圈的玻璃管进行降温。
基本信息
专利标题 ：
一种防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021123057.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-17
授权号 ：
CN212519531U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
王庆文孙伟民王磊徐纪法杜伟峰李家鑫樊荣
申请人 ：
洛阳博特自动化工程有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市高新开发区河洛路260号
代理机构 ：
郑州中科鼎佳专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
蔡佳宁
优先权 ：
CN202021123057.8
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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