上料装置及上下料装置
授权
摘要
本申请提供了一种上料装置及上下料装置，包括用于输入载满待处理的硅片的花篮的物料输入机构，物料输入机构包括沿水平方向间隔布置的第一输入线和第二输入线；同时，上下料装置还包括翻转机构，能够提取花篮，并将花篮翻转180°；如此，第一输入线输入的花篮，以及经过翻转机构翻转的花篮，其顶面和底面相反，对应的，两个花篮中的硅片面向也相反；上下料装置还包括搬运机构，搬运机构接取这两组待处理的硅片时，其中一组硅片的第一面朝上，而另一组硅片的第二面朝上。一方面，通过设置两组输入线，能够提高上料效率；另一方面，由于两组工作线最终供给的硅片面向不同，满足了特殊工艺的需要。
基本信息
专利标题 ：
上料装置及上下料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021134810.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN212412070U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市无锡高新技术产业开发区新洲路18号先导二厂
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021134810.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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