轴承装置、载台装置及曝光装置
专利权的终止
摘要
一种轴承装置，可确保充分的移动行程而无需连接供气用的管路等。该轴承装置具有包括衬垫部(73)的移动体(3)和固定体(2)。向衬垫部(73)供给介质来将移动体(3)可自由移动地支承在固定体(2)上。该轴承装置具有：设置于固定体(2)且供给前述介质的供给部(5)；联络供给部(5)和衬垫部(73)的联络部(75)；相应于移动体(3)相对固定体(2)的位置来开闭联络部(75)的开闭装置(6)。
基本信息
专利标题 ：
轴承装置、载台装置及曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101040126A
申请号 ：
CN200580035291.7
公开（公告）日 ：
2007-09-19
申请日 ：
2005-10-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
荒井大
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
雒运朴
优先权 ：
CN200580035291.7
主分类号 ：
F16C32/06
IPC分类号 ：
F16C32/06 F16C29/02 H01L21/027
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C32/00
不包含在其他类目中的轴承
F16C32/06
带有至少在很大程度上不是由轴的运动形成的流体垫所支承的运动元件，如流体静力气垫轴承
法律状态
2015-11-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101635081368
IPC(主分类) : F16C 32/06
专利号 : ZL2005800352917
申请日 : 20051007
授权公告日 : 20100120
终止日期 : 20141007
号牌文件序号 : 101635081368
IPC(主分类) : F16C 32/06
专利号 : ZL2005800352917
申请日 : 20051007
授权公告日 : 20100120
终止日期 : 20141007
2010-01-20 ：
授权
2007-11-14 ：
实质审查的生效
2007-09-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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