一种曝光装置的产品载物台
授权
摘要
本实用新型公开了一种曝光装置的产品载物台，包括底座，所述底座上设置有偏转支座，所述偏转支座上偏转安装有偏转座，所述偏转座由偏转动力装置驱动绕偏转中心线偏转；所述偏转座上转动安装有用于固定产品的产品固定座，所述产品固定座由第一旋转动力装置驱动绕旋转中心线旋转，所述偏转中心线与旋转中心线相互垂直。该产品载物台通过调整产品的位置来改变待曝光面的位置，满足3D产品的曝光需求。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光装置的产品载物台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921620827.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN210348196U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
马迪吴景舟陈亮林全海徐维良韩奥琪顾舜邹建军
申请人 ：
钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦B座1号101室、B座2层钧迪智能装备科技（苏州）有限公司
代理机构 ：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李宏伟
优先权 ：
CN201921620827.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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