线性电机、载台装置和曝光装置
授权
摘要
本发明提供一种热回收效率高且可以抑制表面温度上升的线性电机。线性电机具备线圈组件(141)，该线圈组件(141)配置成在包围构件(142)内面向温度调整用液体的流路(142a)，且至少一部分与所述液体接触。线圈组件(141)具备：线圈体(144)、覆盖并将线圈体(144)保持为规定形状的成形层(143)、具有对所述液体的防液性并覆盖成形层(143)的防液层(150)。
基本信息
专利标题 ：
线性电机、载台装置和曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101032068A
申请号 ：
CN200580032810.4
公开（公告）日 ：
2007-09-05
申请日 ：
2005-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
森本树小南忠弘
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
雒运朴
优先权 ：
CN200580032810.4
主分类号 ：
H02K41/02
IPC分类号 ：
H02K41/02 H02K3/30 G03F7/20 H02K3/32 H01L21/027 H02K9/19 H02K3/24
法律状态
2010-12-22 ：
授权
2007-10-31 ：
实质审查的生效
2007-09-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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