载台和传送装置
授权
摘要
本发明实施例公开了一种载台和传送装置，所述载台为静电耗散材料制备而成，所述载台的表面电阻为1×106～1×109Ω。本发明实施例中所述载台为静电耗散材料制备而成，使得所述载台具有静电扩散功能，因此可吸收并缓慢释放产品在制备过程中产生的静电，有效地防止了静电积累，从而降低了因静电导致产品的损坏率，因此提高了产品良率，节约成本。
基本信息
专利标题 ：
载台和传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110620077A
申请号 ：
CN201910779488.5
公开（公告）日 ：
2019-12-27
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN110620077B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
晏鸿
申请人 ：
武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
代理机构 ：
深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄威
优先权 ：
CN201910779488.5
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2020-01-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20190822
申请日 : 20190822
2019-12-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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