工件载具的传送装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了工件载具的传送装置，包括：外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；内框，位于所述工作空间内；传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间引导所述内框的升降。所述传送装置能够实现对工件载具的精准移动，提高工件加工效率。
基本信息
专利标题 ：
工件载具的传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114351091A
申请号 ：
CN202111665538.0
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张继凡何涛朱磊周健
申请人 ：
安徽立光电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市来安县经济开发区经一路2号
代理机构 ：
杭州合信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈自军
优先权 ：
CN202111665538.0
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/50 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/22
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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