一种曝光机基板载台及曝光机
授权
摘要
本实用新型涉及一种曝光机基板载台及采用该基板载台的曝光机，该基板载台包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。本实用新型通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹结合使用，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光机基板载台及曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920529313.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-18
授权号 ：
CN209471339U
授权日 ：
2019-10-08
发明人 ：
汪杰
申请人 ：
东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省昆山市经济技术开发区蓬溪北路500号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
张涛
优先权 ：
CN201920529313.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2019-10-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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