一种铜箔基板节能曝光机
授权
摘要
本实用公开了一种铜箔基板节能曝光机，包括机架，机架的左侧内部设有曝光室，曝光室的上部及下部分别设有第一灯组件及第二灯组件，第一灯组件及第二灯组件包括壳体及灯板，壳体设有供冷却液流通的通孔，灯板设有若干LED灯组，LED灯组由LED灯珠线性排列组成，相邻LED灯组平行设置，相邻LED灯组的LED灯珠错位设置，灯板的两侧设有反光板，壳体的两端设有可检测铜箔基板的传感器，传感器与LED灯组电性连接，壳体可沿机架的长度方向线性移动，机架的右侧设有第一玻璃载板框及输送装置，输送装置驱动玻璃载板框进入曝光室内，本实用新型使用合理设置的LED灯代替传统UV灯，具有节能环保的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种铜箔基板节能曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020132690.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-19
授权号 ：
CN211698585U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
赖志晴
申请人 ：
江门市江海区创辉特电子有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市江海区江睦路115号3幢第四层403室
代理机构 ：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段宇
优先权 ：
CN202020132690.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211698585U.PDF
PDF下载
