MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统
授权
摘要
本公开涉及MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统。MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块,并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块,并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号,该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。感测信号的第一值和第二值彼此相减,并且与储存的差值进行比较,以供应比例因子的变化信息。
基本信息
专利标题 :
MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021139739.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-18
授权号 :
CN212658265U
授权日 :
2021-03-05
发明人 :
L·奎利诺尼L·G·法罗尼M·F·布鲁内托
申请人 :
意法半导体股份有限公司
申请人地址 :
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
董莘
优先权 :
CN202021139739.8
主分类号 :
G01C19/56
IPC分类号 :
G01C19/56 G01C19/5776 G01C25/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2021-03-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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