贴膜台
授权
摘要
本申请公开了一种贴膜台，包括固定机构、滑动安装于固定机构的升降机构，以及安装于固定机构与升降机构之间且用于驱动升降机构相对固定机构滑动的第一升降驱动机构；固定机构包括固定架，以及安装于固定架的固定台，固定台上开设有供升降机构通过的第一让位孔；升降机构包括与第一升降驱动机构的输出端相连的升降架，以及安装于升降架且位于第一让位孔内的贴膜盘。对于某一厚度的晶圆，放置于贴膜台后，第一升降驱动机构带动升降机构上升或下降一定的高度，使得晶圆的上表面与固定台的上表面平齐，进行下一步的贴膜操作。因此，本申请实施例提供的贴膜台，可以适配不同厚度的晶圆。
基本信息
专利标题 ：
贴膜台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021206558.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212530220U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
程彦张成宣胡丽兰胡龙
申请人 ：
东莞思沃智能装备有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖园区研发一路1号103房
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
李金伟
优先权 ：
CN202021206558.2
主分类号 ：
B65B33/02
IPC分类号 ：
B65B33/02 B29C63/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65B
包装物件或物料的机械，装置或设备，或方法；启封
B65B33/00
用可移去的，如可剥去的覆盖层包装物件
B65B33/02
包装小物件，如机器或发动机的备件
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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