一种下回传加热装置及系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种下回传加热装置及系统，属于真空镀膜机械技术领域。该回传装置包括箱体、设置在箱体上的驱动部件、传动机构、摩擦轮和设置在箱体中的加热装置；其中传动机构包括设置在箱体的两个侧板之间的主传动轴和设置在每个侧板上的多个从传动轴，主传动轴的两端设置有主同步轮，从传动轴的一端设置有从同步轮，摩擦轮设置在从传动轴位于侧板内侧的一端；驱动部件驱动主传动轴并带动主同步轮转动，主同步轮与其同侧的从同步轮通过第一同步带传动。本实用新型在载板回传过程中，通过加热装置持续对载板进行加热，使得载板保持较高的温度，当载板在回到工艺腔时，无需重新对载板进行加热，从而减少了工艺时间，提高了生产的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种下回传加热装置及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021209919.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN213086107U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
徐文涛孙健李王俊
申请人 ：
苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济开发区芦荡路228号
代理机构 ：
江苏瑞途律师事务所
代理人 ：
刘琦
优先权 ：
CN202021209919.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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