一种用于石墨电极底部防尘的防护罩
授权
摘要

本实用新型涉及一种用于石墨电极底部防尘的防护罩,属于化学气相沉积技术领域。防护罩包括PBN材质的主体,其中,主体为内部中空的圆柱型,主体下端开口,上端中心位置设置圆形贯穿孔,主体下端紧贴底部石墨板。本实用新型整体套装在石墨电极上,全面覆盖石墨电极与底部石墨板之间的口径空隙,使反应腔室内气体与电极隔绝,有效阻挡碳毡颗粒、粉尘等杂质进入反应腔室内,改善反应腔室内洁清环境,提高电阻稳定性,从而提高产品的光滑度,改善产品的质量。

基本信息
专利标题 :
一种用于石墨电极底部防尘的防护罩
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021213681.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-28
授权号 :
CN213110568U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
刘汝强王殿春任绪栋窦松德周清波
申请人 :
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 :
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 :
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 :
赵龙群
优先权 :
CN202021213681.7
主分类号 :
B65D59/04
IPC分类号 :
B65D59/04  B65D85/42  B08B17/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D59/00
用于保护部分物件或用于捆扎物件的栓塞、套筒、帽盖或类似的刚性或半刚性元件,例如螺纹保护器、角保护器、用于管子或用于捆扎棒状物件的端帽
B65D59/04
套筒,如邮政管子
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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