用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备
授权
摘要
描述了一种用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备，其中所述防护罩被构造为在真空处理腔室中遮罩沉积源的材料。所述瓦包括瓦主体；所述瓦主体的第一侧部，所述第一侧部被构造为面向所述沉积源；所述瓦主体的第二侧部，所述第二侧部与所述第一侧部相对，所述第二侧部具有至少一个用于将所述瓦安装到所述防护罩的凹槽，其中所述第一侧部具有结构化表面。
基本信息
专利标题 ：
用于防护罩的瓦、防护罩和沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921823091.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-28
授权号 ：
CN211814626U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
贝克尔·雷蒙里斯·弗洛里安
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201921823091.3
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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