一种基于提高检测精度的探针装置
授权
摘要
本实用新型涉及探针检测设备领域,尤其涉及一种基于提高检测精度的探针装置,包括支撑机构、PCB板模块和探针单元;支撑机构包括底座,底座的一端连接有探针座;探针单元包括若干布设于探针座上的探针;PCB板模块设置于底座上,且PCB板模块上设置有用于连接测试主机的信号线和若干与探针一一对应连接的铜线。本技术方案通过在探针卡的PCB板上引出若干铜线,并在每根铜线上连接探针,实现将电流分散于若干根探针上,基于所有探针相互配合对晶圆进行测试,提高了对晶圆各项参数的检测精度,进一步提高了检测结果的可靠性。
基本信息
专利标题 :
一种基于提高检测精度的探针装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021220767.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-29
授权号 :
CN212622727U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
邓鹏
申请人 :
乐山嘉洋科技发展有限公司
申请人地址 :
四川省乐山市高新区建业大道2号
代理机构 :
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 :
邓小兵
优先权 :
CN202021220767.2
主分类号 :
G01R1/073
IPC分类号 :
G01R1/073 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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