涂胶显影设备专用恒温恒湿设备
授权
摘要
本实用新型涉及工业领域，尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5)，集合水箱(5)连接热交换器(4)，厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4)，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱(6)，该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。
基本信息
专利标题 ：
涂胶显影设备专用恒温恒湿设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021227809.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212720078U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
李超
申请人 ：
西安稳能微电子科技有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区光泰路2号凯威大厦25楼2501-A01
代理机构 ：
汉中市铭源专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周沛臣
优先权 ：
CN202021227809.5
主分类号 ：
F24F5/00
IPC分类号 ：
F24F5/00 G03F7/16 G03F7/26
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F24
供热；炉灶；通风
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F5/00
不包含在F24F 1/00或F24F 3/00组中的空气调节系统或设备
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212720078U.PDF
PDF下载
