一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备

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摘要

本实用新型公开了一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备，蚀刻篮具包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上，蚀刻篮具包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴，本实用新型采用加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。

基本信息

专利标题：

一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021229373.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-29

授权号：

CN212833483U

授权日：

2021-03-30

发明人：

赖耀升江建志周俊强

申请人：

恩利克（浙江）智能装备有限公司

申请人地址：

浙江省嘉兴市嘉善县干窑镇两创路18号1号楼一层A区

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

王大国

优先权：

CN202021229373.3

主分类号：

C03C15/00

IPC分类号：

C03C15/00