高温烤箱置物架组件
授权
摘要
本实用新型提供了一种高温烤箱置物架组件，包括料架骨架和多个托架，多个托架设置在料架骨架上，托架的材质为陶瓷。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中半导体工件在高温处理过程中容易掺杂杂质，降低半导体质量和成品率的问题。
基本信息
专利标题 ：
高温烤箱置物架组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021234229.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212161767U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
熊志红郑思温
申请人 ：
深圳仕上电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福海街道新和社区晖信工业园B栋厂房1层2层、4层，C栋厂房1层
代理机构 ：
深圳中细软知识产权代理有限公司
代理人 ：
孔祥丹
优先权 ：
CN202021234229.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212161767U.PDF
PDF下载
