本实用新型公开了一种具有减震效果的晶圆输送车，涉及半导体材料转运设备技术领域。本实用新型包括车体，所述车体底部的四角分别设置有车轮组件，所述车轮组件与车体之间通过减震组件连接，所述减震组件包括四根与车体底部焊接一体的立柱，套设在立柱上的减震弹簧和将车轮组件固定连接在立柱上的螺帽；所述车轮组件包括安装座和车轮，所述安装座包括安装板和设置在安装板两侧的连接板，四根立柱分别穿过安装板上的四个通孔，下端与螺帽螺纹连接，所述减震弹簧位于安装板与车体底部之间，且套设在立柱上。本实用新型的减震晶圆输送车，具有良好的减震效果，可以控制振动的最低水平，以保持高质量、完整的晶圆的转移。