振动传感器
授权
摘要
本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、外壳、振动组件以及MEMS麦克风；振动组件包括垫片、振膜以及质量块；垫片、振膜和电路板共同围成第一腔，振动组件还设有贯穿其上的第一泄压孔；MEMS麦克风包括固定于振膜的基底和支撑于基底远离振膜一端并与振膜间隔形成电容结构的背极板，基底、背极板和振膜共同围成第二腔，第一泄压孔将第一腔和第二腔连通；外壳设有贯穿其上的第二泄压孔；外壳背离谐振腔的一侧和/或电路板背离谐振腔的一侧输入振动信号或压力信号时，振动组件振动，并使第一腔内的气压产生变化。与相关技术相比，本实用新型的振动传感器灵敏度更高，便于生产。
基本信息
专利标题 ：
振动传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021263081.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212785847U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
曾鹏陈志远
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘伟
优先权 ：
CN202021263081.1
主分类号 ：
H04R19/00
IPC分类号 ：
H04R19/00 H04R19/04
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法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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