振动陀螺传感器和调节振动陀螺传感器的方法

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摘要

本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器，该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器，该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极，以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。

基本信息

专利标题：

振动陀螺传感器和调节振动陀螺传感器的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1828224A

申请号：

CN200610073968.2

公开（公告）日：

2006-09-06

申请日：

2006-03-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

高桥和夫稻熊辉往相泽学领木浩二佐佐木伸中盐荣治

申请人：

索尼株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

优先权：

CN200610073968.2

主分类号：

G01C19/56

IPC分类号：

G01C19/56